1. Metode Titik Warna: Oleskan bubuk timbal merah secara merata pada permukaan yang akan diukur. Setelah digosokkan pada piring standar, akan muncul titik terang. Dalam area 25mm × 25mm, jika bintik-bintik tersebar merata dan banyak (misalnya, Lebih besar dari atau sama dengan 20 titik), kerataannya dapat diterima. Metode ini cocok untuk pengukuran kasar yang cepat, namun memiliki akurasi yang lebih rendah.
2. Metode Interferensi Datar Optik: Tekan tombol datar optik (kerataan<0.1λ) onto the surface to be measured to form an air wedge interference cavity. If straight, uniform interference fringes appear under monochromatic light, the flatness is good; if the fringes are curved, the error needs to be calculated:
Pinggiran Annular: Nilai kesalahan=jumlah pinggiran × λ/2 (λ adalah panjang gelombang cahaya).
Pinggiran Lurus: Nilai kesalahan=kelengkungan × spasi pinggiran/2.
Metode ini mencapai akurasi tingkat-nanometer dan cocok untuk inspeksi-bidang kecil.
3. Metode Indikator: Dengan menggunakan pelat standar sebagai acuan, ukur permukaan titik demi titik dengan mikrometer. Jika metode tiga-titik digunakan untuk penyesuaian, perbedaan antara pembacaan maksimum dan minimum adalah nilai kesalahan; metode zona minimum memerlukan perhitungan matematis. Ini menawarkan akurasi tinggi tetapi rumit untuk dioperasikan.
4. Metode Kolimator/Level: Pengukuran dilakukan pada titik-titik yang disusun dalam kisi-kisi, dan simpangan setiap titik relatif terhadap acuan dicatat. Kesalahan kerataan dihitung dengan menggunakan metode kuadrat terkecil atau metode zona batas minimum. Cocok untuk-pemeriksaan area yang luas, namun memerlukan lingkungan yang stabil.
